材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征
材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征
材料表面特性及結(jié)構(gòu)表征 ——SEM+EDS
基本原理:
電子槍發(fā)出電子,經(jīng)過加速電壓加速后轟擊到測試樣品表面,激發(fā)出各種信號,其中有二次電子(SEI),被散射電子(BEI),特征X-ray,俄歇電子等信號,其中SEI及BEI用于成像,特征X-ray則用于材料表面元素分析。
目的意義:
通過對涂鍍層、形貌、表面元素的測試,可以監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量,有助于改善工藝。
樣品的要求:
非磁性,不易潮解,且無揮發(fā)性的固態(tài)樣品,尺寸要求:小于3CM*3CM*3CM樣品。若樣品不符合要求尺寸,須告知樣品可否破壞!
測試項目:
1.表面形貌觀察,斷口觀察 :JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
2.微薄鍍層厚度測量 :GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量
3.表面元素定性半定量分析 :GB/T 17359-1998 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則
4.錫須觀察 :JESD 22a121