隨著以美國(guó)為首的西方勢(shì)力對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體材料的技術(shù)制約。半導(dǎo)體材料行業(yè)開始發(fā)揚(yáng)國(guó)產(chǎn)國(guó)造,自力更生的“南泥灣精神”,朝著精細(xì)化、高端化、尖端化自給自足的方向發(fā)展。半導(dǎo)體材料檢測(cè)是對(duì)半導(dǎo)體材料的特性參數(shù)進(jìn)行分析測(cè)試的技術(shù)。
常見半導(dǎo)體材料檢測(cè)種類如下:
1、濕電子化學(xué)品檢測(cè)種類
(1)酸堿類:高純鹽酸、高純硫酸、高純硝酸、高純氫氟酸、高純冰Z酸、高純草酸、電子級(jí)復(fù)水、電子級(jí)過氧化氫、氫氧化鉀溶液、氫氧化鈉溶液、電子級(jí)磷酸;
(2)蝕刻類:鋁腐蝕液、鉻鷹蝕液、鎳銀腐蝕液、硅腐蝕液、金蝕刻液、銅蝕刻液、顯影液、剝離液、清洗液、ITO蝕刻液、緩釋劑、BOE;
(3)溶劑類:甲醇、乙醇、異丙醇、丙酮、四甲基氫氧化銨、甲苯、二甲苯、三氯乙烯、環(huán)已烷、N-甲基吡略烷酮、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚醋酸酯等。
2、光刻膠及配套試劑檢測(cè)種類
光刻膠、負(fù)膠顯影液、負(fù)膠漂洗液、負(fù)膠顯影漂洗液、正膠顯影液正膠稀釋劑、邊膠清洗劑、負(fù)膠剝離液、正膠剝離液等。
3、電池材料檢測(cè)種類
(1)負(fù)極材料:碳材料、非碳負(fù)極材料、石里負(fù)極材料、鋰電池負(fù)極材料、硅負(fù)極材料、鋰離子負(fù)極材料、硅碳負(fù)極材料、碳素負(fù)極材料、瀝青負(fù)極材料等;
(2)正極材料:鉆酸鋰、錳酸鋰、磷酸鐵鋰、三元材料、鎳,鉆,錳酸鋰、鎳錳酸鋰、正極材料鎳鉆錳酸鋰等;
(3)電解液:鋰離子電池用電解液、鋰原電池用電解液、六氟磷酸鋰、六氟磷酸鋰電解液等;
(4)電池/電解液添加劑:成膜添加劑、導(dǎo)電添加劑、阻燃添加劑、過充保護(hù)添加劑、改善低溫性能的添加劑、多功能添加劑等;
(5)電池隔膜:鋰電池隔膜、高性能電池隔膜、電池陶瓷隔膜等。
4、電子元器件化學(xué)品檢測(cè)種類
硝酸鉍、硫酸鋁、硝酸鋁、硝酸鉀、溴化鈣、重鉻酸銨、重絡(luò)化鉬、氯化、三氯化梯、磷酸、硅酸鉀鈉、(硅鋁、硫酸鎂、硝酸銅、硝酬鍶、氟化氫銨、碳酸、氧化銷、氟化鎂、銳酸鈉、氧化擦、氧化鋼等。
5、電子工業(yè)用氣體檢測(cè)種類
甲烷、三氯化硼、三氧化氬、六氟化硫、八氧環(huán)丁烷、六氟乙烷、四氟化碳、氯化氫、一氧化碳、笑氣、硅烷等。
6、印刷電子化學(xué)品檢測(cè)種類
印刷線路板材料及配套化學(xué)品、電子油墨、絲網(wǎng)印刷材料等。
7、電子膠類檢測(cè)種類
SMT貼片紅膠、LED貼片硅膠、UV膠、AB膠、填充膠、密封膠、導(dǎo)電銀膠、硅膠等。
8、電子級(jí)水檢測(cè)種類
超純水、純化水等。
9、其他電子材料檢測(cè)種類
CMP拋光材料、靶材、導(dǎo)電錄合物、液晶聚合物、聚酯薄膜、抗靜電材料、抗蝕劑、封裝材料、LED/OLED材料、發(fā)光材料、光學(xué)薄膜、平板膜、TFT-LCD面板及模組構(gòu)成材料、電子紙、硅材料、太陽能電池膜等。
檢測(cè)項(xiàng)目
半導(dǎo)體材料檢測(cè)的常見性能參數(shù)主要為電學(xué)性能、光學(xué)性能、限用物質(zhì)等的檢測(cè)。
電學(xué)性能主要檢測(cè)電阻率、霍爾系數(shù)、磁阻等性能;
光學(xué)性能主要檢測(cè)器光電導(dǎo)、光吸收等性能。
而半導(dǎo)體材料的關(guān)鍵性能檢測(cè)指標(biāo)主要為禁帶寬度、電阻率、載流子遷移率(載流子即半導(dǎo)體中參加導(dǎo)電的電子和空穴)、非平衡載流子壽命、位錯(cuò)密度等。
除此之外,我們還可以檢測(cè)其雜質(zhì)含量、雜質(zhì)缺陷能級(jí)等來了解材料的純度、補(bǔ)償度。通過x射線、金相分析來了解半導(dǎo)體材料晶體結(jié)構(gòu)的層錯(cuò)、位錯(cuò)密度、夾雜和李晶等情況。
半導(dǎo)體材料檢測(cè)方法
目前半導(dǎo)體材料檢測(cè)分析的重點(diǎn)逐漸轉(zhuǎn)向?qū)Π雽?dǎo)體薄膜,特別是薄膜的表面、異質(zhì)結(jié)界面性質(zhì)研究和對(duì)薄膜材料的組甜和結(jié)構(gòu)分析。新型測(cè)試分析方法如結(jié)電容技術(shù),激光光譜技術(shù),俄歇電子能譜、二次離子質(zhì)譜和電子顯微分析技術(shù)等的建立與不斷完善,為深入研究雜質(zhì)和缺陷在半導(dǎo)體材料中的行為、雜質(zhì)與缺陷相互作用、表面、界面質(zhì)量、混晶組份以及結(jié)梅缺陷等提供了有力手段,促進(jìn)了半導(dǎo)體材料及物理學(xué)的發(fā)展,如您有相關(guān)產(chǎn)品需要咨詢,歡迎您直接來電4000-1998-38咨詢我司工作人員,獲得詳細(xì)的費(fèi)用報(bào)價(jià)與周期方案等等信息。
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