超純水檢測
概述
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
3、單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。
4、高壓變電器的清洗等。
檢測項目
電阻率測試、蒸發(fā)后殘留物測試、細菌測試、液態(tài)塵粒測試(LPC test)、硅油總量測試、離子測試、金屬離子測試、溶解氧測試等。
檢測標準
ASTM D4453-2011:超純水試樣處理規(guī)程
ASTM D5127-2007:電子和半導體工業(yè)用超純水的指南
ASTM D7980-2015:對半導體工業(yè)中超純水瞬時樣品陰離子進行離子色譜分析的指南
JIS K0550-1994:超純水中細菌數(shù)的試驗方法
JIS K0551-1994:超純水中總有機炭(TOC)的試驗方法
JIS K0552-1994:超純水中電導率的試驗方法
JIS K0553-2002:超純水中金屬元素的試驗方法
JIS K0554-1995:超純水中微粒子測定方法
JIS K0555-1995:超純水中二氧化硅的試驗方法
JIS K0556-1995:超純水中陰離子的試驗方法